
全球首个纳米级微振动实验室投运
科技日报记者 刘园园记者1日获悉,国投集团所属中国电子工程设计院股份有限公司(以下简称“中国电子院”)建设的全球首个纳米级微振动实验室日前在河北雄安新区正式投运。这是国投集团在先进电子制造领域布局打造的国家级科技创新平台。“纳米级微振动实验室将全面服务于半导体制造、航空航天、精密仪器、生物医药等重点领域,推动我国高精密制造领域‘软实力’与‘硬装备’协同提升。”中国电子院首席技术官杨光明介绍,该实验
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